Verfahren, Prozess, Technik

Ofenglühen

Verfahren, bei dem mehrere Halbleiterscheiben erwärmt werden.

Das Ofenglühen wird in Öfen durchgeführt, die das Erhitzen mehrerer Wafer gleichzeitig zulassen. Der Prozess kann zwischen mehreren Stunden und einem Tag dauern.

Auch Annealing Furnace oder Softening Furnace genannt.

oven annealing

A process in which several semiconductor wafers are heated.

The annealing takes place in furnaces that permit several wafers to be heated at the same time, and the process can last from several hours up to a full day.

The furnace is known as an annealing or softening furnace.